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一块晶圆样品，被放入一台扫描电子显微镜，电脑屏幕上随即显示出样品表面的清晰“沟壑”。“这是晶圆经光刻机加工后形成的微观图案。扫描电子显微镜内部的电子光学系统，能......
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